CKD空氣干燥器結(jié)構(gòu)及用途
只需1臺(tái)即可實(shí)現(xiàn)從低真空高真空的寬域控制
馬達(dá)緣等A類馬達(dá)耐電壓AC550V　1分鐘
馬達(dá)緣電阻10MΩ以上　DC500使用環(huán)境溫度0～40°C
zui大輸出轉(zhuǎn)矩N•m 1.2 3.0連續(xù)輸出轉(zhuǎn)矩N•m 0.4 1.0
zui高旋轉(zhuǎn)速度rpm 240　(注1)允許軸負(fù)載N 600
允許力矩負(fù)載N•m 5輸出軸慣性力矩kg•m2 0.00034 0.00059
允許負(fù)荷慣性力矩kg•m2 0.034 0.059分度精度(注2) 秒±90
重復(fù)精度(注2) 秒±10軸摩擦轉(zhuǎn)矩N•m 0.13 0.2辨率P/rev 540672
保存環(huán)境濕度20～90%RH 無(wú)結(jié)環(huán)境無(wú)腐蝕性氣體，無(wú)爆炸性氣體，無(wú)粉塵
kg 1.2 1.8輸出軸端面跳動(dòng)(注2) mm 0.0防護(hù)等IP20
注1 ：在連續(xù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)行時(shí)，請(qǐng)以不超過(guò)80rpm的速度使用。

CKD空氣干燥器結(jié)構(gòu)及用途

轉(zhuǎn)角度、移動(dòng)時(shí)間和計(jì)時(shí)器間等?！た伤倥艢猓河行П苊鈸P(yáng)
概要用實(shí)例速切斷、排氣控制自如·不需另配切斷用真空閥，實(shí)現(xiàn)裝置的小型化
程序編號(hào)選擇輸入（比特0） 正電平觸發(fā)程序編號(hào)選擇輸入（比特1） 正電平觸發(fā)
程序編號(hào)選擇輸入（比特2） 正電平觸發(fā)程序編號(hào)選擇輸入（比特3） 正電平觸發(fā)
程序編號(hào)設(shè)置輸入2位邊沿觸連續(xù)旋轉(zhuǎn)停止輸入正邊沿觸發(fā)
響應(yīng)輸入/位置偏差計(jì)數(shù)清除輸入正邊沿觸發(fā)緊急停止輸入負(fù)電平觸車解除輸入正電平觸發(fā)
本品是在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中，為控制真空室內(nèi)的真空壓力驅(qū)動(dòng)器可通用使用。
具備了控制器功能，可以通過(guò)NC程序來(lái)自由設(shè)置馬達(dá)的旋起閥室內(nèi)的顆粒